高純氣體的管道輸送

2022-04-28 04:03:53

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　　高純氣體廠家告訴您高純度氣體管道中所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到儀器用點(diǎn)(POU)，為了達(dá)到儀器對氣體的質(zhì)量要求，在氣體出口指標(biāo)一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，因此，管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則，并注明管道材質(zhì)。

　　高純度氣體的管道輸送，將高純氣體送至用氣點(diǎn)，并保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵是供氣系統(tǒng)設(shè)計合理、管件及附件選擇正確、施工安裝正確和試驗(yàn)檢測合格。高純氣體管道輸送管道，要根據(jù)工藝過程對氣體純度、允許的雜質(zhì)含量、微粒含量等的要求不同，采用相應(yīng)質(zhì)量的管材。比如半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)因其生產(chǎn)工藝復(fù)雜、加工精細(xì)，它不僅要求有潔凈的生產(chǎn)環(huán)境，而且對生產(chǎn)過程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴(yán)格的要求，從微米技術(shù)進(jìn)入亞微米、深亞微米(小于O．35g．m)技術(shù)，對氣體中的雜質(zhì)含量、水含量要求極為嚴(yán)格，10(ppm級)已經(jīng)不能達(dá)到要求，需要達(dá)到10(ppb級)，甚至10一~2(ppt級)，塵埃粒徑要求控制到0．05-0。Olla,m。因此輸送管道本身的管道材料特性適應(yīng)高純、超高純氣體的要求成為必須。